| 方法和装置用于测量三个三维形状，和显微镜装置，用于三个三维形状测量 |
| JP2011160102 2011-7-21 发明申请 |
| 2013-2-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法和装置用于测量一个三-维形状能够高度准确的测量所述的一镜面形状对象包括一个台阶部，和还提供一种显微镜装置，用于三-维形状测量。溶液 : 一个对象表面的局部斜率信息和形状信息4是通过使用获取的偏转测量方法。随后，设置被执行，以允许一个共轭位置3的一平面光源1通过一投影光学系统2以被定位在所述对象表面4。另外，该光阑孔径光阑22的半径是减小和一平面光源图像被投影所述对象表面4上。一个步骤的步骤量信息部分包含在所述对象表面是所述的基础上获得的失真一种平面光源图像中的信息到被观察的观察光学系统5和先前获得的本地斜率信息和形状信息，和然后，该形状信息是所述的步骤量的基础上校正信息。版权 : (C)2013，inpit |
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