| 电子显微镜系统，和控制方法，其 |
| JP2011157570 2011-7-19 发明申请 |
| 2013-2-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子显微镜系统和一及其控制方法，其允许一清晰的图像一个样品的待拍摄的。溶液 : 所述的电子显微镜系统包括 : 一个用于产生一个电子束的电子枪; 一个用于与所述电子束照射一样品的光学系统; 一阶段，以在其上设置所述样品; 一个用于以一个图像的图像取机构的所述样品在与所述电子束照射在所述样品用于观测的样品; 一种用于分析该样品分析机构由所述图像拍摄的图像取机构; 和一位置-控制机构用于控制所述样品和所述的图像取机构在所述的相对位置。所述位置-控制机构移动的至少一个所述级和该领域的该图像取机构的视图该所分析的结果的基础上通过该分析机构。版权 : (C)2013，inpit |
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