| 电子显微镜 |
| JP2011162409 2011-7-25 发明申请 |
| 2013-2-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子显微镜，其具有一相对大的加速度的使用范围电压而不增加样品的损伤和污染。溶液 : 一个电子显微镜包括 : 一个电子光束光学系统，其与电子束照射一样品从一个电子枪; 和一个电子检测器，其检测一电子从所述样品。所述电子检测器包括一个陶瓷闪烁体和一光电转换元件，其将光从所述陶瓷闪烁体为电流。所述陶瓷闪烁体包括一个陶瓷荧光物质，其是通过烧结形成一种荧光物质，和所述厚度所述的陶瓷荧光物质是200至300μm。版权 : (C)2013，inpit |
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