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产业专利数据

半自动扫描探针显微镜扫描

US13559165 2012-7-26 发明申请

2013-1-31

公开了一种用于样品的原子力显微镜(“AFM”)扫描的半自动方法。该方法可以包括手动示教样品和AFM针尖在AFM工具上的相对位置；然后通过预定义的程序扫描同一样品或具有相同图案的其它样品，以自动产生更多的图像。