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有源-反馈位置漂移校正在一显微镜图像使用一个信托元件保持在一个nanopositioning级

WOUS12048005 2012-7-24 发明申请

2013-1-31

稳定化，通过主动反馈位置漂移校正，一种光学显微镜的成像系统在高达3-尺寸是实现使用该一种图像传感器的光学测量路径。纳米尺度所述成像系统的稳定性是通过校正来实现用于位置漂移使用信托引用稀疏地分布在或在接近到所述实验样品。