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用于校正原子力显微镜中的误差的方法和装置

MYPI2012003385 2012-7-26 发明申请

2013-1-26

在某些实施例中，探针扫描表面以产生第一扫描。所述第一扫描用于估计用于扫描所述表面以产生第二扫描的垂直偏移。在某些实施例中，AFM装置使用压电电压将探针接合到表面。探头扫描表面以产生第一扫描。所述第一扫描用于估计垂直偏移，使得所述探针在不同的垂直位置使用所述压电电压接合所述表面以进行第二扫描。