| 相位板和透射电子显微镜 |
| JP2011147313 2011-7-1 发明申请 |
| 2013-1-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个相位板在其上的一人工制品一相的对比度的图像可以被降低。溶液 : 一个相位板100包括 : 一个第一电极层10具有一第一平面10a和一第二平面10b相对以第一的平面10a; 第第二电极层12具有一第三面对的平面12a第二平面10b，和一个第四平面12b相对的第三面12a; 第第三电极层14具有一第五平面14a面对第四的平面12b，和一个第六平面14b相反，以第五的平面14a; 一个涂覆层20至少第一的平面10a上形成第一电极层10。第一电极层10，第二电极层12，和第三电极层14被设置在从所述上游侧的顺序发送的波W1到被形成为一个层叠体具有一通过孔2，和所述涂覆层20是由钽，钨，铼，或钼。版权 : (C)2013，inpit |
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