| 透射电子显微镜，透射电子显微镜的散焦量调节方法，程序，和信息存储媒体 |
| JP2011148887 2011-7-5 发明申请 |
| 2013-1-24 |
| 要解决的问题 : 提供一透射电子显微镜，一种散焦量调节方法，一种程序，和一个信息存储媒体能够精确地调整的散焦量。溶液 : 所述传输电子显微镜包括一个图像获取部22，获取一个传输电子显微镜图像，一个方向检测部24，它产生一个傅里叶变换的图像通过施加傅里叶变换第一上传输电子显微镜图像即是这种情况中获得的作为电子射线是不倾斜的，用于检测所述方向在其一个所述傅里叶变换的图像中的高频率成分增加，一控制信号生成部26，它产生一个控制信号用于倾斜所述电子射线辐射的一个样品在所述检测方向上，用于输出它到偏转器控制装置5，和一散焦量检测部28以一第一之间的相关传输电子显微镜图像和第二这样的条件下透射电子显微镜获取的图像作为该电子射线被在所述检测到的倾斜方向，以获得一位移量第一和第二之间的传输电子显微镜图像，从而检测散焦量基于所获得的位移量。版权 : (C)2013，inpit |
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