| 扫描电镜及扫描隧道电子显微镜 |
| WOJP12068369 2012-7-19 发明申请 |
| 2013-1-24 |
| 该扫描透过电子显微镜包括一个电子透镜系统有小透镜像差系数以允许三维观察0nm原子尺寸结构的。该扫描透过电子显微镜还包括 : 一种可以改变照射角度的光圈，照明电子透镜组件，其能够变更电子射线探针的尺寸及照射角度，二次电子检测器(9); 隧穿电子检测器(13); 前向散射电子射线检测器(12); 可变聚焦装置(16); 识别图像的对比度图像运算装置，图像运算装置，计算图像清晰度; 计算装置进行三维配置的图像; 和混合器(18)，所述混合二次电子信号与样品前向散射电子信号。 |
微信公众号