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通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针

CN201180023368.4 2011-5-4 发明申请

2013-1-23

本发明涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜(AFM)探针的方法。