| 扫描电子显微镜，缺陷检查装置，缺陷检查装置 |
| WOJP12062555 2012-5-16 发明申请 |
| 2013-1-17 |
| 本发明的目的是，捕获尝试时，通过扫描电子显微镜，缺陷区域的图像上出现样品如晶片，显示面板，磁盘，等，降低这种故障的发生率是没有被捕获图像中的缺陷。扫描电子显微镜，缺陷检查系统，和根据本发明的缺陷检查装置包括 : 输入缺陷检查数据，具有坐标和缺陷的特征量(241); 在每缺陷预测基础由扫描电子显微镜检测是否是可能的或不(242); 采样，基于预测结果，坐标以图像-捕获的扫描电子显微镜(243); 和捕获，基于所述预测结果，一种由电子图像的缺陷区域的光学系统中，加速电压被设置或光学系统(244)。 |
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