| 设备和方法用于使用扫描探针显微镜得到的数据中去除失真 |
| KR1020110067228 2011-7-7 发明申请 |
| 2013-1-16 |
| 目的 : 一种去除装置获得的数据值中的失真的存在通过使用一种扫描光学显微镜和一种方法。其被提供到所述数据准确地检测所述的失真得到的值由z向扫描器，从而去除所述检测的失真。 构成 : 一个输入单元(510)接收至少一个的数据值对应至该样品的倾斜失真，所述所述的磁滞特性的数据值对应的所述失真的z向扫描器，和所述数据值对应至所述失真的所述z向扫描器所述的蠕变特性。一种失真消除单元(520)去除至少一个所述数据的值。 [参考标号](510)的输入单元; (520)失真消除单元; (aa)失真消除装置 版权kipo2013 |
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