| 局部斜坡扫描干涉显微镜使用的声光装置 |
| WOKR12002290 2012-3-28 发明申请 |
| 2013-1-10 |
| 本发明涉及一种扫描干涉显微镜。根据本发明的扫描干涉显微镜包括 : 一光源；偏振光束分束器(PBS)，一种声光(ao)装置；AO驱动单元，用于驱动所述AO装置根据调制频率(fRF)在一个频率抖动可变范围(Δf)和中心的基础上调制频率(frf0)；光检测器，用于检测干扰信号的信号光和参考光；RF为了使用调制频率解调器解调并输出干扰信号；按安培锁用一个抖动频率(fdithering)以解调和输出从所供给的信号射频解调器；一功能发生器，用于产生具有预设抖动信号的幅度(A)和抖动频率(fdithering)和供应所产生的抖动信号以AO驱动单元，提供抖动频率(fdithering)锁在amp；使用信号和控制器输出的AMP的中锁，以便检测样品上的信息。根据扫描干涉显微镜本发明利用AO装置，它能够 : 改变调制频率，以获得所述样品进行局部斜坡上的信息，以能够准确测量样品的表面，测量在整体斜率的变化量的样品因外部变化(噪声)，从而能够以更稳定测量。 |
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