| 集成磁场补偿用于扫描和透射电子显微镜中使用 |
| EP12004906 2012-7-2 发明申请 |
| 2013-1-9 |
| 该装置具有一装置(10)用于提供电的带电粒子。一室(20)被提供有一样品架(23)，其上的一个样品(30)被定位，使得该样品是指示，被测和处理由单元的所述颗粒，其被提供由所述的装置。一系统(40)被提供用于磁场补偿在该空间方向(X，Y，Z)与一补偿线圈(41); 它是由一个绕组提供的一导体，其中一个壁(21)的所述腔室具有一个接收区域(21a，21b)用于所述补偿线圈的一个部分。一个独立的权利要求是包含用于一个用于指示的方法，样品的测试和处理由单元的电带电粒子。 |
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