| 扫描电子显微镜图像用于与一扫描电子显微镜观察图像的一个样品支撑构件和方法。 |
| JP2011286018 2011-12-27 发明授权 |
| 2013-1-9 |
| 当绝缘薄膜之间发生的电位梯度(11)和一个导电薄膜(12)中的一种其上的区域通过该注入电子的电子束被入射到样品支撑构件，一电位势垒在所述绝缘薄膜(11)所述的表面变得更薄，和一种电子发射现象(场发射现象)。由于隧道效应的发生。二次所述绝缘薄膜(11)内产生的电子隧道到所述导电薄膜(12)侧沿所述电位梯度。所述二次电子，其具有隧道传输的所述导电薄膜(12)内的扩散并到达一个样品(30); 和如果所述样品(30)，例如一种生物样品，具有高电子透射率，所述二次电子也隧道该样品通过所述的内部(30)，所述二次电子(42)是通过检测一个二次电子探测器(50)，和一个在所述样品，其中所述的内部结构的SEM图像(30)是反射可以被获得。 |
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