| 设备和方法用于使用扫描探针显微镜得到的数据中检测的失真 |
| KR1020110064721 2011-6-30 发明申请 |
| 2013-1-9 |
| 目的 : 一检测数据值中存在的失真的装置，其是通过使用一个扫描获得的光学显微镜和一种方法，其被提供给使用该数据通过一个z向扫描器获得的值，从而检测所述的失真所获得的数据值，而不额外的外部装置。 构成 : 一种畸变检测单元(500)分析该样本数据值的变化在一个或多个扫描线方向。所述失真检测单元检测至少一个所述的一种样品中存在的一个倾斜的失真所述相同的数据值，该z向扫描器所述的磁滞特性的失真，所述的蠕变特性的所述失真所述的z向扫描器。 [参考标号](500)失真检测单元; (510)存储单元; (520)失真检测装置 版权kipo2013 |
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