复式显微镜装置
 
US12588387  2009-10-14  发明授权

2013-1-8
 
  一种复合式显微镜装置,包括 : 移动载物台的滑块单元、光学显微镜、具有与光学显微镜的光轴相交的电子轴的扫描电子显微镜、具有扫描电子显微镜和光学显微镜之间的放大率并与光学显微镜共同使用物镜的光学测量/观察单元、以及控制整个装置的控制单元、和具有显示屏的显示单元。 在低放大率光学显微镜图像的显示期间,控制单元控制显示单元在图像上显示表示,以指定在光学测量/观察单元的放大率下要观察的区域,并且在图像上显示另一表示,以指定在高放大率光学显微镜图像的显示期间在扫描电子显微镜的放大率下要观察的区域。
 
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