| 用于检测振动分量的方法和原子力显微镜 |
| JP2011134126 2011-6-16 发明申请 |
| 2013-1-7 |
| 要解决的问题 : 以一振动部件高度sensibly提供一种用于检测方法检测所述振动部件，其是一种基于电流在振动的一个探头，和以提供一种原子力显微镜具有一个高测量通过使用该方法用于检测灵敏度所述的振动分量。溶液 : 所述原子力显微镜包括 : 一样品探针6用于扫描所述的表面3包括一个电致伸缩元件具有两个振动臂部6a和6b; 一个差动放大器电路9获得两个检测信号之间的差从电极7a和7a，其被设置在所述振动臂部6a和6b分别以去除一扰动分量出现在一个相同的相位所述两个检测信号之间，所述振动检测部件基于所述的振动所述探头6中产生一个反相，并产生一处理信号; 和一个频率检测电路11用于检测该样品3的信息的基础上所述处理通过所述差动放大器电路9产生的信号。版权 : (C)2013，inpit |
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