| 激光显微镜装置 |
| JP2011131327 2011-6-13 发明申请 |
| 2013-1-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光显微镜装置，尽管一单一装置，抑制在生成的效率劣化车光，并在空间分辨率和适合于以一种同时观察一种汽车光的观察和一个差分干涉观测。溶液 : 所述激光显微镜装置包括 : 一光源部100用于产生第一和第二光通量L1和l2具有不同波长; 一激光组合器105用于多路复用所述两个光束L1‘和L2’; 一偏振器104提供至少一个的两个光学路径，并创建一个线性极化的光通量光; 一个两维扫描部201; 一双折射棱镜202用于将一光通量分成两个; 一物镜透镜203，用于会聚所述多路复用的光通量; 一种用于合成两个光束的双折射棱镜209从一个样品; 一分析仪210; 一个光通量分离部207; 一第一检测部301和第二检测部302用于检测一车信号和DIC信号; 和一种图像处理部401，用于观察该样品中的表面上形成一个图像上的所述信息由第一和第二检测的基础部分和光点的位置信息通过所述两个三维扫描部分201。版权 : (C)2013，inpit |
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