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用于临界尺寸扫描电子显微镜电磁干扰屏蔽的系统和方法

US13175384 2011-7-1 发明申请

2013-1-3

描述了用于CD-SEM的EMI屏蔽的系统和方法。一个实施例是扫描电子显微镜(“SEM”)，其包括用于产生指向样品的电子束的电子枪；二次电子(“SE”)检测器，用于检测响应于电子束从样品反射的二次电子；以及双层屏蔽，其设置在SE检测器周围并包围SE检测器。屏蔽层包括磁屏蔽层和金属箔层。