| 电子显微镜系统 |
| KR1020110105778 2011-10-17 发明授权 |
| 2012-12-24 |
| 目的 : 一种电子组件的显微镜系统被提供以最小化所述数和配管处理通过组合一真空阀模块与一真空室。 构成 : 一个电子枪(22)发出一个电子束到所述的真空室内部(21)。一真空阀模块(23)是在所述真空室与所述的壁紧密接触。一个电子枪的管空间连接所述的真空阀模块和所述的电子枪。一个第一的辅助泵(241)是与该真空阀模块组合。一个主泵(25)是与该真空阀模块组合。一个第二的辅助泵(242)是与所述主泵的组合。 [参考标号](21)真空阀模块; (22)的电子枪; (241, 242)辅助泵(rvp); (25)主泵(TMP); (aa)阀闭合; (bb)阀打开; (cc)空气流; (dd)阀控制方向的 版权kipo2013 |
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