| 绘图板，用于电子显微镜和制造方法，其 |
| JP2011126849 2011-6-7 发明申请 |
| 2012-12-20 |
| 要解决的问题 : 以达到一绘图板具有一个与所述的直径大约1μm的超细孔隙由于绘制到大约1μm的直径是需要在所述的超细孔隙，在所述的事实考虑其一个一个准确的施工方法结构分析和三-维获得的可视化图像被提出，其是从所述相同的尺寸由几个纳米区域与电子束照射对象，同时保持所述电子束在新的平行度需要用于一个传输电子显微镜伴随由所述纳米技术的最新技术的开发。溶液 : 一绘图板用于一种电子显微镜是提供获得并具有一种超细孔的直径大约1μm通过施加一个孔11的处理由一种多级圆柱形空腔以一金属的板7具有所需要的100μm的厚度，用于屏蔽电子光束和通过处理一目标的超细孔从所述反向方向与制造技术使用离子束处理。一电子显微镜所述绘图板用于制造所述的方法是还提供。版权 : (C)2013，inpit |
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