| 相同的相位板和制造所述的方法，和相位差电子显微镜 |
| JP2011235473 2011-10-26 发明申请 |
| 2012-12-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一个相同的相位板和一制造所述的方法，和一相位的差值电子显微镜能获取的一个稳定的，高-分辨率的相位差电子显微镜图像。溶液 : 一个相位板10是通过支撑一导电芯配置相位板11，其被制成的非晶碳和该等例如，一支撑体12的顶部上具有一开口，以便盖在所述开口的至少一个部分12a，和形成一导电增强薄膜13，其被制成的非晶碳等例如，以作为到盖的后表面和所述开口。在该时间，所述导电增强薄膜13是通过制造一种薄膜形成材料进入飞从一倾斜方向。另外，该相位板10被设置在一电子穿过一个物镜的透镜的通道一相位的差值电子显微镜和一个样品。版权 : (C)2013，inpit |
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