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原子力显微镜中的自动增益控制

US13117238 2011-5-27 发明申请

2012-11-29

一种用于优化原子力显微镜(AFM)设备的环路增益的方法，包括确定物理系统的增益的变化，以及调整AFM环路中控制器的控制器频率响应以补偿所确定的增益变化。 AFM环路具有对应的环路响应，该环路响应包括控制器频率响应和物理系统的物理系统响应的乘积。