原子力显微镜清洗台
 
US13458725  2012-4-27  发明申请

2012-11-22
 
  本发明公开了一种清洗台,用于在对支撑在流体介质中的样品成像期间彻底清洗暴露于流体的AFM部件表面。 清洗台被设计成选择性地将AFM部件表面暴露于清洗剂(例如肥皂/清洁剂和水)、等离子清洗等,以及清洗工具(例如刷子),同时保护流体敏感部件不暴露于清洗剂。 优选实施例对于其中流体敏感部件(致动器、传感器、连接器等)集成在悬臂保持器附接到的同一装置中的扫描器特别有益。
 
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