| 一种原子力显微镜的进针方法 |
| CN201210265550.7 2012-7-27 发明申请 |
| 2012-11-21 |
| 一种原子力显微镜的进针方法，首先将压电陶瓷扫描器Z方向伸到最长位置，然后控制步进电机以50~100μm/s速度快速带动样品台上升，利用光电传感器检测从探针尖反射过来的光斑偏转信号来判断样品表面是否接触探针，当样品表面接触探针时，迅速将压电陶瓷扫描器Z方向缩到最短位置，同时停止步进电机，最后通过压电陶瓷扫描器的微调，将探针与样品表面作用力调整到参考点位置，来完成最终进针。本发明能有效解决快速进针过程中系统延时及步进电机运动惯性对探针与样品表面相互作用力影响，减小快速进针过程中探针及样品表面的损坏。 |
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