| 电子显微镜 |
| WOJP12001748 2012-3-14 发明申请 |
| 2012-11-15 |
| 本发明的目的是，一种扫描电子显微镜中具有多个不同的类型的检测器; 以提供一种装置，因而操作者，任何观察条件下，可以容易地获得所期望的观察表面图像。为实现这个目的，图像被显示的同时，实时观测条件中被连续地改变，和所述运营商可以容易地获取图像通过选择他\/她什么感觉到被所述从所显示的图像之间的最佳图像在实际时间。该观察条件包括以下 : 所述工作距离; 所述的真空水平; 该加减操作检测信号从反射的电子检测元件，其上被划分成多个的元件; 所述电压施加到所述偏置电极的低真空二次电子探测器; 和所述混合比的信号时，所述混合图像被显示。 |
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