| 原子力显微镜 |
| JP2008052663 2008-3-3 发明授权 |
| 2012-11-14 |
| 要解决的问题 : 以缩短所述AFM测量的测量时间和以减少所述样品的损伤。? 溶液 : 该原子力显微系统，用于成像的一个分接模式中所述样品表面的形状，具有一探针与所述的表面相互作用的所述样品通过原子力，并包括一悬臂，一激光束提供装置，一个光检测装置，一个振幅调制器-解调器，一个压电元件，一个控制器，用于估计所述的表面形状所述样品，和一个数据存储装置，用于存储所估计的表面形状。? 版权 : (C)2009，inpit? |
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