| 电子显微镜 |
| JP2011085299 2011-4-7 发明申请 |
| 2012-11-12 |
| 要解决的问题 : 以方便调整的一个电子光束的光学轴和观察的高对比度的暗领域。在电子显微镜图像。溶液 : 在一个电子显微镜，电子光束104从一个电子源103被施加到样品110通过一个照射透镜105和偏转线圈106和107，和所述电子束具有穿过该样品110是通过检测一暗场检测器111和一亮场检测器114通过一个成像透镜108。电子束图像是一荧光屏幕112上形成，该电子束所述荧光屏幕上图像112是由一个摄像机113拍摄的，和所述电子束的一重力的中心坐标得到的是从该照相机113的图像数据。所述电子束的一位置或所述暗场检测器是由一个偏转线圈控制装置控制118或一暗场检测器控制装置119，使得所述电子束所述的重力的中心坐标该暗的场检测器111与所述中心重合。因此，光学轴调整是容易和实现高对比度的暗场观察图像。版权 : (C)2013，inpit |
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