| 扫描电子显微镜 |
| KR1020110041104 2011-4-29 发明申请 |
| 2012-11-7 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到用于一特定区域仅检查该表面通过照射所述特定一晶片与一光束的区域。 构成 : 一晶片(6)被设置在一个级。一限制控制单元(3)限制了照射一个光束的照射区域以比一局部区域的所述晶片是与所述束照射。所述照射限制控制单元包括一个保护线圈。一种中孔，其中所述光束穿过一护板上形成。一束发射单元(1)照射该光束。一杠杆控制的移动所述防护板和所述孔的尺寸。该孔被形成为一圆形形状或多边形形状。< BR > 版权 kipo 2013 < BR > |
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