| 扫描电子显微镜 |
| KR1020110041107 2011-4-29 发明申请 |
| 2012-11-7 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到支撑一个晶片通过包括一支撑适配器通过执行一个表面检查用于所述后侧的所述晶片。 构成 : 一束照射部(11)与一个光束照射一个晶片。一支撑适配器(12)支持所述晶片由被接触到所述边缘的顶部和底部平面的所述晶片。所述支撑适配器包括一个接地引线。所述支撑适配器是所述晶片和包括对准标记上形成用于匹配坐标的一个检查目标图案。一阶段(13)设置所述支撑适配器。一接地销电连接到所述接地引线。< BR > 版权 kipo 2013 < BR > |
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