| 远程控制器，用于临界dimenstion扫描电子显微镜 |
| KR1020120052544 2012-5-17 发明申请 |
| 2012-10-31 |
| 目的 : 一CD一远程的控制装置-SEM(临界尺寸扫描电子显微镜)被提供到精确控制的SEM在一远程站点使用一输入单元。 构成 : 一个KVM(键盘视频鼠标开关)模块(230)被连接到一个显示的连接器的SEM照片。一种SEM控制器包括SEM接口模块(220)。所述SEM接口模块的SEM照片的旋转角度内反射器在一个X-轴和Y-轴。一个IP控制器(210)将SEM从所述SEM接口模块接收到的状态信号到一个远程控制装置。一束按钮和一个级按钮被按下和产生电信号。一输入单元包括所述光束按钮和所述级按钮。 [参考标号](210)IP控制器; (220)的SEM接口模块; (230)KVM模块; (240)图像分配器; (250)缩放模块; (260)信号转换器模块; (270)DVR; (280)HD照相机 版权kipo2013 |
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