| 扫描隧道显微镜 |
| RU2011120635 2011-5-20 发明授权 |
| 2012-10-27 |
| 领域 : 仪器制造。内容 : 在一个扫描隧道显微镜，包括 : 一尖峰，一个可拆卸的准确piezodrive通过轴X，Y，Z，一个样品夹持器与一个其接近与所述尖峰的间距piezodrive，一个单元到测量隧道电流，一个单元以记录所述的测表面的形貌与一控制计算器，一个单元，以补偿电压脉动，HV电压放大器由X，Y，Z轴，一个交换机，一个单元的自适应控制，一数字至模拟转换器的热补偿，一个低通滤波器，一个加法器，一数字至模拟转换器的一隧道的间隙的精确控制，以及也有两个数字到模拟控制变换器的X，Y-电极外部的一个可拆卸的准确piezotubepiezodrive，所述已经引入了以下部件 : 一个单元的自动纳米粒子的连接经由一数据检测和识别总线与一个单元到记录一测表面的形貌，一种控制计算器和一个单元的自适应控制，和还一有源振动保护的系统，包括一磁铁，磁导体，一个可动线圈，一个加速度传感器，一弹性膜片，振动保护信号的一个放大器，其被连接的所述入口与所述加速度传感器，和所述出口-该模拟到数字转换器与所述的入口，所述的出口，其被连接到一个的所述一信号处理器的入口，所述的适当的出口，其通过所述数字到模拟转换器和放大器被连接。以一可动线圈的所述的有源振动保护系统。效果 : 扩展的功能由于以自动的检测和识别能力的STM-nanoobjects的图像具有较高的可靠性，提供由使用两个识别的方法，和还通过在STM-图像噪声的降低和悬架的用于周期的测量时间与较高vibroacoustic背景。2显示 |
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