| 扫描显微镜 |
| JP2011074147 2011-3-30 发明申请 |
| 2012-10-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜排列第一和第二附近的偏转元件和减少总的尺寸。溶液 : 一扫描显微镜10具有 : 一光源20; 一个物镜36; 和一个扫描单元33。该扫描单元33具有第一至第三偏转元件33a到33c，具有第一和第二偏转元件33a，33b设置，使得由入射从该光源20侧的照明光被反射由所述第一偏转元件33a和第二偏转元件33b和所述的照明光被制成以扫描一样品表面50在一规定的方向，添加第一和第二中偏转元件33a，33b被旋转，因此所述的照明光的所述旋转中心第一和第二偏转元件33a，33b分别位于多个在所述光源20侧比第一的偏转元件33a或多个所述样品表面50上定位比第二偏转元件33b，此外，第三偏转元件33b被设置到扫描所述样品表面50在一方向，其是基本上正交于所述规定的方向通过具有一反射表面定位在该旋转中心通过第一和第二的照明光的偏转元件33a，33b。版权 : (C)2013，inpit |
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