| 扫描型显微镜和扫描型显微镜系统 |
| JP2011074668 2011-3-30 发明申请 |
| 2012-10-25 |
| 要解决的问题 : 以获得一低噪声高的速度在一个扫描型显微镜中的图像。溶液 : 一扫描型显微镜包括一光源单元，第一的扫描装置11a4a，第一束限制体115a一种和一个光量检测器118。所述光源单元发射照射光束照射到样品从第一和第二辐射点。第一的扫描装置11a4a所述照射光束的偏转方向变化。第一束限制体115a一种具有多个孔115a作为以通过所述照射光束。所述的光量检测器118检测该接收量的信号引起的光束通过所述照射到所述样品。第一的扫描装置11a可以移动扫描点4a沿第一通过改变所述偏转扫描方向所述照射光束的方向。所述多个孔115a作为被放置，从而使所述照射光束从第一和第二发出的辐射点通过该孔115a作为在不同时间依赖于所述的偏转方向由第一所述的连续变化扫描装置11a4a。版权 : (C)2013，inpit |
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