扫描型显微镜和扫描型显微镜系统
 
JP2011076046  2011-3-30  发明申请

2012-10-25
 
  要解决的问题 : 以获得一低噪声高的速度在一个扫描型显微镜中的图像。溶液 : 一扫描型显微镜包括一光源单元120,一物镜透镜115,一扫描器单元114,一种销孔阵列113,一个光分离器112,一个光量检测器116和一个位置检测系统117。所述光源单元120发出的光束从多个辐射点脉冲依次重复。该物镜15图像的所述样品上的光束脉冲。该扫描器单元114扫描该样品通过所述物镜与所述光束成像的脉冲。所述销孔阵列113是销孔形的至少一个上的图像形成位置一反射反射的光通过所述样品和荧光。所述的光隔离器112隔离的至少一个所反射的光从光路径和所述荧光发送的光的偏转。所述的光量检测器116反射的光或荧光检测所述的光量。所述位置检测系统117检测照射光束的照射位置。版权 : (C)2013,inpit
 
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