| 提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法 |
| CN201210238366.3 2012-7-10 发明申请 |
| 2012-10-24 |
| 本发明提出一种施加直流偏压提高静电力驱动原子力显微镜(AFM)探针悬臂振动幅度的方法。AFM探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，由于作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中除共振峰以外其它杂峰的出现；而进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。 |
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