远场显微镜照明安装和远场的照明过程
 
DE102011017078  2011-4-15  发明申请

2012-10-18
 
  本发明涉及一种宽场显微镜照明系统和以一个照明方法。照明光被发送到所述显微镜物镜在照明光入口点位于一预定的照明光的入口区域内。所述的照明光入口点被自动改变成多个的照明光通过一个入口点在时间间隔控制,自动照明光的光束路径中的操纵装置,以便保护所述物镜从通过辐射损伤过载。
 
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