| 电子显微镜，和衍射图像的观察方法。 |
| JP2011061352 2011-3-18 发明申请 |
| 2012-10-18 |
| 要解决的问题 : 检测一偏转，其电子射线接收从具有高精度的电磁场用于观察为一种电子衍射图像，为了观察弱磁化分布和电场分布在一个元件以及作为其变化，和以分析该使用透射电子显微镜一个元件的周期性排列。溶液 : 一个电子透镜在一个第一级的正下方的样品3(下流侧第一级一电子射线的样品在所述的前进方向)，其已经常规使用的用于一短焦点距离被使用作为一个长焦距的距离物镜51。因此，一个图像11由照射一个光源的聚焦透镜系统41和42被聚焦在成像透镜系统61-64的一个物理表面，以有效地放大所述衍射图像的所述样品，其允许观察所述衍射图像的一个小的散射角的周围电子射线10-6RAD。版权 : (C)2013，inpit |
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