| 组合装置的扫描电子显微镜和能量分散X-射线光谱学 |
| WOKR11007773 2011-10-19 发明申请 |
| 2012-10-18 |
| 本发明公开了一种组合装置的扫描电子显微镜和能量分散X-射线光谱在使所述扫描电子显微镜和能量分散X-射线被组合，由此统一为一个装置。该扫描电子显微镜所述的组合装置和所述能量分散X-射线光谱包括 : 一个图像生成装置用于检测发射的电子从一个样品用于测量该样品的形状和同时产生一扫描电子显微镜用于分析一个X-射线图像; 一控制器，用于产生一个显示控制信号和一个特定位置存储所产生的图像的控制信号从所述图像生成装置; 和一个X-射线测量电路用于一特定位置上积累的能量电平所产生的图像的从所述图像生成装置根据所述特定位置存储由所述控制器产生的控制信号以提供一种元件其信息。 |
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