| 应用于扫描电子显微镜的样品座 |
| CN201220138262.0 2012-3-31 实用新型 |
| 2012-10-17 |
| 本实用新型涉及应用于扫描电子显微镜的样品座，属于半导体芯片制造行业的失效分析领域。该样品座包括底座、设置于底座顶部的金属平台以及位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。本实用新型避免了使用现有技术中的双面导电胶，增加了导电性、改善了SEM图像质量，避免了取样时的破损，减少了污染，节约了成本。 |
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