| 扫描热扭转原子力显微镜 |
| US13441480 2012-4-6 发明申请 |
| 2012-10-11 |
| 提供了原子力显微镜探针、用于制造用于原子力显微镜的探针的方法和使用这种探针的系统。 探针包括至少一个主体部分和一个悬臂部分。 悬臂部分可包括第一表面和与第一表面相对的第二表面。 悬臂部分还包括布置在第一表面上的第一材料，使得当悬臂部分被加热时悬臂部分绕悬臂部分的中心轴线扭转。 第一材料可以对称地或非对称地布置在第一表面的一部分上，或者可以在第一表面上非均匀地布置。 探针的悬臂部分还可以包括布置在悬臂部分的第二表面上的第二材料。 第一和第二材料具有与形成悬臂部分的材料不同的热膨胀。 |
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