| 扫描探针显微镜和使用相同的测量方法 |
| WOJP12002336 2012-4-4 发明申请 |
| 2012-10-11 |
| 本发明的目的是提供一种用于测量一个扫描探针显微镜测量的方法所述一种样品的形状和光学性能中使用近场光与不降低信号-噪声比等离激元中的传播-型光学SPM。以解决上述问题，本发明提供了一种测量方法的一个扫描探针显微镜用于观察该样品的形状和光学性能通过激发的近场光，所述近场扫描所述的相对位置光和所述样品，和检测由所述样品散射的光的所述近场光，所述的方法的特征是，在使所述近场光被调制到周期性地改变所述近场光的相对位置和所述样品，和该所调制的频率施加到所述近场光，并在一频率产生一个干扰信号在其所述近场光的相对位置和所述样品是改变被有选择地提取。 |
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