| 所述的光学图像，以电子显微镜图像叠加和方法。 |
| JP2010048561 2010-3-5 发明授权 |
| 2012-10-10 |
| 首先，一电子显微镜图像之间的位移和一个光学图像被最小化; 其次，颜色信息通过一个光学图像获得装置具有一数字图像的功能被添加到一种electron0显微镜图像; 和第三步，一种设备的整个结构被简化。所述主字符是一个反射镜和反向散射电子探测器是用于和一个电子束撞击在一个样品和一光学轴线从所述的光学图像与每个其它装置重合。另外一种的功能的一个光学反射镜到一反向散射电子探测器允许一整个设备的结构以被简化，和一束轴的一电子显微镜所述的光学图像的装置和所述的光学轴以与每个其它一致。 |
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