| 焦点维护装置和显微镜装置 |
| JP2011051079 2011-3-9 发明申请 |
| 2012-10-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一焦点维护装置，其仅检测AF具有高灵敏度光通过减少杂散光并提高了用于保持一个焦点的能力，和以提供一种具有所述焦显微镜装置点维护装置。溶液 : 一焦点维护装置10用于在一显微镜装置40包括 : 一个聚焦光学系统30用于照射一样品与聚焦从光源发出的光部20通过一物镜透镜41和引导所述聚焦所述样品上反射的光以一个QPd50; 和一个控制部分60用于保持一个所述物镜的焦面41在一预定位置。在该样品通过改变所述物镜透镜41之间的相对位置关系和所述样品，基于检测信号输出从所述QPd50。所述聚焦光的入射角度到一反射表面的所述样品是所述的布儒斯特角。版权 : (C)2013，inpit |
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