| 扫描显微镜 |
| WOJP12058321 2012-3-29 发明申请 |
| 2012-10-4 |
| 本发明提供一种扫描显微镜，其被配置成使得，当出射光瞳位置和一出射光瞳共轭一种图像形成的光学组件的位置变化，一种用于扫描一个光束的旋转中心的位置被移动，跟踪该光瞳的位置。一扫描显微镜(10)包括一光源(20)，一个物镜(36)，和一个扫描单元(33)。该扫描单元(33)进一步包括第一通过第四偏转元件(33a-3A～3D)。所述的照明光的偏转角度是由第一控制通过第四偏转元件(33a-33d)分别，使得所述的照明光第一和第二的旋转中心的偏转元件(33a，33b)和所述的中心由第三和第四的照明光偏转器的旋转元件(33c，33d)中的任一个所述出射光瞳的近似匹配所述的物镜(36)或一用于所述的出射光瞳其共轭位置。 |
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