| 用于使用在扫描探针显微镜探针单元用于测量例如沟槽的侧壁的结构的表面粗糙度半导体结构，具有设计的探针尖端作为盘，其中高度盘的半径是小于特定的百分比 |
| DE102011005998 2011-3-23 发明申请 |
| 2012-9-27 |
| 本发明涉及一种用于光栅探针显微镜探针机构与一杆(2)或一杆(2)与基座(3)和一个的所述杆(2)或所述底座(3)远的长方形柄(4)与一个探头尖端在所述的该端杆(4)，扫描下一项目的测试，其中所述探针尖端在所述柄(4)突出的，所述探针机构，其特征在于，所述的事实所述探针尖端作为盘(6)，它们的高度所述上清液中被训练的范围(5)的所述盘的边缘(7)在径向方向向所述盘中心在至少一个的长度5纳米，优选至少10纳米，或在至少20%，优选地在至少40%，该scheibenradius‘任何长为20%，优选不超过10%，和特别不希望的任何多个比5%，不改变。本发明还涉及一种适当的过程。 |
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