| 测试结构用于校准扫描电子显微镜在纳米范围的对象表 |
| RU2011106187 2011-2-21 发明授权 |
| 2012-9-27 |
| 领域 : 物理学。物质 : 本发明是一种由一底座和一个有序的阵列结构的微结构在形成的突起在所述底座，设置这样的是在每个行，每个n-第i个元件是与更换空的空间，和在每个下一排所述替换元件是通过移动一个位置，所述数n可改变从3至10根据在所述的所述微结构尺寸。存在下与空空间的元件代替所述阵列中产生斜条所述测试结构的微结构，其被用于校准时，所述对象表。效果 : 使用的这样的一测试结构使以校准与高精度对象表，确定所述平均所述给定的位移值的所述表和所述位移的不确定性。 |
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