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4
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在扫描探头显微镜的扫描方法和形成图像的表面
RU2010141753 2010-10-11 发明授权
2012-9-27
领域 : 物理学。物质 : 一样品的表面被扫描的分别用于两个区域-该表面的所述基板和所述表面所述结构元件的所述基板上,无需重新安装所述样品。所述图像的所述表面的所述结构元件是通过减去形成恒定的倾角,其是确定的所述基板的扫描该表面从该结果。效果 : 方法。使以建立所述的该表面的倾斜值的所述结构元件相对所述表面的所述基板; 它提高了测量划出accuracy.4
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