| 提高扫描电子显微镜分辨率的方法和系统 |
| US13460470 2012-4-30 发明申请 |
| 2012-9-27 |
| 一种用于提高扫描电子显微镜分辨率的方法，所述方法包括 : 响应于二次电子在物体中的预期穿透深度来定义能带； 用一次电子束照射所述物体； 以及从到达光谱仪的具有能带内的能量的电子产生图像。 一种扫描电子显微镜，包括 : 用于支撑物体的台； 控制器，其适于响应于二次电子在对象中的预期穿透深度来接收或限定能带能带； 适于用初级电子束照射物体的照明光学器件； 分光计； 由所述控制器控制以响应于所定义的能带选择性地排斥电子； 以及处理器，其适于从分光计提供的检测信号生成图像。 |
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